В статье описывается новый метод определения комплексной диэлектрической проницаемости пленок, толщина которых значительно меньше длины волны терагерцового (ТГц) излучения. Этот метод основан на одновременном измерении форм волн ТГц, отраженных и прошедших через содержащие образец пленки (двухмодовая конфигурация). Представлены аналитические и численные решения уравнений Максвелла, которые позволяют точно и легко определять комплексные материальные параметры пленок для случаев поперечной электрической (ТЕ) и поперечной магнитной (ТМ) поляризации при произвольном угле падения ТГц-луча. Предложенный метод снижает вклад шума, связанного с флуктуацией лазера, что повышает точность определения диэлектрической проницаемости.